由于半導體車間經常需要全天候運轉,因此危險氣流分布系統,尤其是將氣流供應給多個過程工具時,必須包含自動監控和控制功能,從而確保可靠性,這些可靠的系統不僅確保半導體的質量,更重要的是,它們還保護人身安全。液空電子(ALE)通過將GE Fanuc提供的一組創新的人機界面(HMI)觸摸屏和可編程邏輯控制器(PLC)與DST Controls(位于加利福尼亞州的貝尼西)的定制控制系統工廠相結合來實現自動監控和控制。
成果: 高可用性,保護工廠生產和人員安全。 易操作的操作員界面。 更強的系統安全性。 高速的以太網通訊。 緊湊型控制,減少空間需求。 更快速、安全的遠程連接。 | | 詳細情況,請下載本手冊
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