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機(jī)器視覺在半導(dǎo)體中的應(yīng)用--晶圓檢測(cè)
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客戶要求:

       經(jīng)過光刻的晶圓在檢測(cè)后會(huì)發(fā)現(xiàn)大量的壞品,壞品通常是打上標(biāo)志,如果是不完整的晶片也是屬于壞品。

       要求把良品檢測(cè)出來,并把它的坐標(biāo)位置與角度傳送給運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),再由機(jī)械結(jié)構(gòu)作出進(jìn)一步的調(diào)整。CCD、鏡頭、光源由固定座固定不需要移動(dòng)。

 

實(shí)現(xiàn)方式:

       硬件:CCD采用臺(tái)灣敏通高清晰度相機(jī)

                圖像采集卡采用創(chuàng)科視覺的PCI2100圖像采集卡,隨卡帶有圖象定位軟件。

                鏡頭使用COMPUTAR鏡頭

                光源是環(huán)形紅光

軟件:采用創(chuàng)科視覺公司的ckvision軟件開發(fā)包進(jìn)行二次開發(fā)。

ckvision提供多種高級(jí)功能

                 條形碼讀出

輪廓識(shí)別

普通物體識(shí)別

模式匹配 

斑點(diǎn)檢測(cè)

邊緣檢測(cè)

表面分析 

快速傅利葉轉(zhuǎn)換

濾波器

坐標(biāo)跟蹤

目標(biāo)定位

條碼識(shí)別

各種圖象邏輯運(yùn)算

OCR光學(xué)字符號(hào)識(shí)別

圖象形態(tài)分析

 

實(shí)現(xiàn)過程

       因?yàn)榭蛻粜枰覀兲峁﹫D像方面的DLL庫,只需要圖象采集、打開保存、圖象捕捉、顯示圖象、在圖象上顯示用戶設(shè)置的檢測(cè)框與十字線、提供灰度直方圖、二值化功能、對(duì)象計(jì)數(shù)、對(duì)象中心和角度的輸出、檢測(cè)壞點(diǎn)、檢測(cè)是否完整等功能。

       開發(fā)工具采用VC6、為了加快運(yùn)行速度嵌入了Intel匯編指令,為了達(dá)到更好的檢測(cè)效果我們對(duì)ckvision的工具進(jìn)行了部分修改。

壞點(diǎn)檢測(cè)與是否完整檢測(cè)使用具有學(xué)習(xí)功能的匹配算法,對(duì)象中心與角度的檢測(cè)使用了

輪廓識(shí)別和邊緣檢測(cè)算法。

 

應(yīng)用效果:

       目前該圖象庫已經(jīng)得到了多家客戶的使用與測(cè)試。功能已經(jīng)得到了完整的改善,已經(jīng)開始批量生產(chǎn)。

 

 

 

深圳市創(chuàng)科自動(dòng)化控制技術(shù)有限公司

電話:0755-33938285 

手機(jī):13480974764

聯(lián)系人:黎先生

http://tqtdc2009.cn.alibaba.com

 

 


 

狀 態(tài): 離線

公司簡(jiǎn)介
產(chǎn)品目錄
供應(yīng)信息

公司名稱: 深圳市創(chuàng)科自動(dòng)化控制技術(shù)有限公司
聯(lián) 系 人: 黎友
電  話: 0755-33938285
傳  真: 0755-33938285
地  址: 深圳市寶安區(qū)福永鎮(zhèn)街道萊福大廈4樓
郵  編: 518103
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